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之前順冠講過(guò)靜電在生活生產(chǎn)中的危害,那么靜電對(duì)集成電路行業(yè)的危害有哪些呢?

第一、ESA。ElectroStaticAttraction靜電吸附,它會(huì)造成嚴(yán)重的污染。

我們知道IC生產(chǎn)工藝要求的是潔凈車間或超凈車間。但國(guó)內(nèi)很少有廠家能做到無(wú)塵室里一粒particle都沒(méi)有,現(xiàn)在要求灰塵顆粒粒徑由原來(lái)的0.3μm降低到現(xiàn)在的0.1μm,但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時(shí),很容易使產(chǎn)品報(bào)廢。

有時(shí)候客戶會(huì)問(wèn),我們生產(chǎn)晶片的整道工序靜電防護(hù)做的很好,該接地的都接了,要用的防靜電設(shè)備也用了,而且凈化等級(jí)做的也很高,為什么放置一段時(shí)間后還會(huì)吸灰呢?那是因?yàn)樯a(chǎn)加工晶片的機(jī)臺(tái)或工作車間都裝有FFU高效過(guò)濾器,當(dāng)氣流與產(chǎn)品進(jìn)行摩擦后就會(huì)產(chǎn)生靜電,靜電累積到一定量的時(shí)候就會(huì)吸附灰塵。所以我們建議在高效過(guò)濾器下端裝不帶氣源的靜電消除器來(lái)保證整個(gè)空間的動(dòng)態(tài)平衡。

第二、ESD。ElectroStaticDischarge靜電放電,它會(huì)造成器件擊穿。

靜電放電是電荷積累的過(guò)程,當(dāng)電荷積累到一定的程度,有個(gè)導(dǎo)體接近它就會(huì)產(chǎn)生靜電放電。舉個(gè)很簡(jiǎn)單的例子,在干燥的冬季,人走動(dòng)、摩擦后很容易積聚靜電,當(dāng)我們碰到金屬把手或開汽車門的時(shí)候會(huì)有觸電的感覺(jué),這就是靜電放電,一般人體帶有3000-5000V的靜電時(shí)就會(huì)有明顯放電的感覺(jué)。

半導(dǎo)體元器件也是同樣的道理,如果帶有一定靜電量的半導(dǎo)體器件單獨(dú)放置或裝入電路模塊時(shí),它馬上就會(huì)被擊穿。器件受到靜電放電的影響后,有可能不會(huì)立即出現(xiàn)功能性的損壞,但會(huì)影響元器件的可靠性。

靜電放電造成的損失每年可達(dá)到幾十億美元以上。因此,許多大型的元件和設(shè)備制造廠引進(jìn)專業(yè)技術(shù)以減小生產(chǎn)環(huán)境中的靜電積累。

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