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在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間,由于塵埃吸附在芯片上,尤其是超大規(guī)模集成電路的成品率會大大下降。生產(chǎn)車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現(xiàn)場的話,將影響產(chǎn)品質(zhì)量,惡化產(chǎn)品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于線條寬度約時,薄膜厚度在下時,則最易使產(chǎn)品報廢。

所以在的加工生產(chǎn)和封裝過程中建立起靜電防護(hù)系統(tǒng)是很有必要的IC封裝生產(chǎn)線對靜電的要求更為嚴(yán)格。為了保證生產(chǎn)線的正常運(yùn)行,對其潔凈廠房進(jìn)行防靜電建筑材料的整體裝修,對進(jìn)出潔凈廠房的所有人員配備防靜電服裝等采取硬件措施外,封裝企業(yè)可根據(jù)國家有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和本企業(yè)的實(shí)際隋況制定出在防靜電方面的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或具體要求,來配合封裝生產(chǎn)線的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

由于即除塵又除靜電的設(shè)備品種較多,如何選擇適合自己的產(chǎn)品主要根據(jù)生產(chǎn)線上的狀況來決定。以下介紹幾種即除塵又除靜電的設(shè)備:

1、離子風(fēng)槍:它的特點(diǎn)是手持式的,操作方式很隨意,它比較適合用在檢驗(yàn)部位,檢驗(yàn)者看到那里有灰塵只要拿起風(fēng)槍吹一下就可以了。

2、離子風(fēng)嘴:它是固定式的產(chǎn)品,體積小,不占地方,它比較適合流水線上或部分空間狹小的工位。也可以做成腳踏式和感應(yīng)式。

3、離子風(fēng)蛇:它有三種款式:普通式、感應(yīng)式和腳踏式,可以滿足客戶生產(chǎn)現(xiàn)場不同環(huán)境的需要。適合用在有空間放置,無需人員操作,但需要經(jīng)常調(diào)整吹塵方向的工位。

除以上產(chǎn)品在部分流水線和操作工位上還需裝離子風(fēng)機(jī),從而降低靜電的累積,避免產(chǎn)品在不知不覺中被擊穿。可以選用我司的懸掛式離子風(fēng)機(jī),消電面積大,不占用工作空間,可以根據(jù)工作臺的大小或流水線的寬度來選擇。

應(yīng)用現(xiàn)場

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